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中國硅單晶的產量、銷售收入近幾年遞增較快 | |||
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2007年,中國市場上有各類硅單晶生產設備1500余臺,分布在70余家生產企業。2007年5月24日,國家“863”計劃超大規模集成電路(IC)配套材料重大專項總體組在北京組織專家對西安理工大學和北京有色金屬研究總院承擔的“TDR-150型單晶爐(12英寸MCZ綜合系統)”完成了驗收。這標志著擁有自主知識產權的大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設備,在我國首次研制成功。這項產品使中國能夠開發具有自主知識產權的關鍵制造技術與單晶爐生產設備,填補了國內空白,初步改變了在晶體生長設備領域研發制造受制于人的局面。 |
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